掃描/透射電子顯微鏡是指帶有掃描附件的透射電子顯微鏡，特別是由場發射電子槍制成的掃描透射電子顯微。掃描透射電子顯微鏡(STEM)是一種新的分析方法，它結合了掃描和傳統透射電子顯微鏡的原理和特點。
 

　　掃描透射電子顯微鏡是透射電子顯微鏡的發展。掃描線圈迫使電子探針在薄膜樣品上掃描。與掃描電子顯微鏡不同的是，探測器放置在樣品下方，接收透射電子束或彈性散射電子束。放大后，在熒光屏上顯示與常規透射電子顯微鏡相對應的掃描透射電子顯微鏡的明場圖像和暗場圖像。
 

　　掃描/透射電子顯微鏡的優點：
 

　　1、掃描透射電子顯微鏡可以觀察到厚樣品和低對比度樣品。
 

　　2、通過在掃描透射模式下使用物鏡的強激勵可以實現微區衍射。
 

　　3、利用能量分析儀的方法可以分別收集和處理彈性散射和非彈性散射電子。
 

　　4、進行高分辨率分析、成像和生物大分子分析。
 

　　掃描/透射電子顯微鏡的工作原理：
 

　　通過用聚焦電子束掃描樣品來完成的。在掃描模式下，場發射電子源發射電子，電子束通過磁透鏡和樣品前面的孔徑會聚成原子級束斑。在電子束點聚焦在樣品表面上之后，通過線圈控制器逐點掃描樣品區域。在掃描每個點的同時，樣品下的探測器同步接收散射電子。檢測器接收到的與每個掃描位置相對應的信號被轉換成電流強度并顯示在熒光屏或計算機顯示器上。樣本上的每個點對應于生成的圖像點。穿過探測器中間空穴的電子可以使用亮場探測器形成一般的高分辨率亮場圖像。環形探測器接收的電子形成暗場圖像。